MF104800 - SEMI MF1048 - Test Method for Measuring the Reflective Total Integrated Scatter StdPbc-0114 9に準拠した）オープンカセットを扱う。本スタンダードはそれらの種類ならびにキャリア容量（13枚と25枚の）をひとつのインタフェース規格によって規定する。

9に準拠した）オープンカセットを扱う。本スタンダードはそれらの種類ならびにキャリア容量（13枚と25枚の）をひとつのインタフェース規格によって規定する。

as well as other elements such as aluminum

SEMI P5 — Specification for Pellicles

This Standard specifies the requirements for the architecture

MF104800 - SEMI MF1048 - Test Method for Measuring the Reflective Total Integrated Scatter StdPbc-0114 9に準拠した）オープンカセットを扱う。本スタンダードはそれらの種類ならびにキャリア容量（13枚と25枚の）をひとつのインタフェース規格によって規定する。This Test Method covers the measurement of scatter signals from surfaces into most of the reflective hemispherical collector above the surface. Calculation of the TIS, called Haze in some industries, is defined. This Test Method is particularly applicable to clean, optically smooth, front surface reflectors, such as semiconductor wafers, computer disk substrates, and mirrors, because under certain conditions the measured signals can be related to