E05800 - SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス StdPbc-0814 本文書では，標準状態のもとでPOU精製器およびフィルタのパーティクル発生性能の比較を行うために考案された試験方法について説明する。この手順では，一般に半導体用途のインラインガスフィルタおよび精製器に適用されている凝縮核カウンタ（CNC）を利用する。本試験方法は，室温で動作させる様々な種類の機能部品に適用される。精製器の定格フローは，0～50標準リットル／分（slm）の範囲内でなければならない。フィルタにおける流量は 0～100 標準リットル／分（slm） の範囲でなければならない。<0} 本方法をより大流量の機能部で使用する場合

本文書では，標準状態のもとでPOU精製器およびフィルタのパーティクル発生性能の比較を行うために考案された試験方法について説明する。この手順では，一般に半導体用途のインラインガスフィルタおよび精製器に適用されている凝縮核カウンタ（CNC）を利用する。本試験方法は，室温で動作させる様々な種類の機能部品に適用される。精製器の定格フローは，0～50標準リットル／分（slm）の範囲内でなければならない。フィルタにおける流量は 0～100 標準リットル／分（slm） の範囲でなければならない。<0} 本方法をより大流量の機能部で使用する場合

1  This Standard specifies the minimum performance criteria for RF power-delivery systems used in the semiconductor industry

but are not limited to

SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)

E05800 - SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス StdPbc-0814 本文書では，標準状態のもとでPOU精製器およびフィルタのパーティクル発生性能の比較を行うために考案された試験方法について説明する。この手順では，一般に半導体用途のインラインガスフィルタおよび精製器に適用されている凝縮核カウンタ（CNC）を利用する。本試験方法は，室温で動作させる様々な種類の機能部品に適用される。精製器の定格フローは，0～50標準リットル／分（slm）の範囲内でなければならない。フィルタにおける流量は 0～100 標準リットル／分（slm） の範囲でなければならない。<0} 本方法をより大流量の機能部で使用する場合NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Information & Control Global Technical CommitteeNorth American Information & Control Committee20001019North American Regional Standards Committee20011www. semi. org2001319976 SEMI E5820037SEMI E58. 1 NOTICE: This Standard or Safety