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• A definition of the basic SECS-II communications capabilities of semiconductor manufacturing equipment
本文書の目的は，半導体産業で使用される塩化水素（HCl）の仕様を提供することである。
このスタンダードの目的は，装置情報システムのセキュリティのための共通の基盤を確立することである。これにより，情報セキュリティの概念や対策を示唆し，それらをユーザおよび半導体製造装置のサプライヤ間で共有できるようにする。
SEMI E30-94 (technical revision)
E17500 - SEMI E175 - Specification for Subsystem Energy Saving Mode Communication (SESMC) StdPbc-0998 • A definition of theThis Standard was technically approved by the Information & Control Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on October 17, 2016. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in November 2016. The purpose of this Specification is to define communication between production equipment and the subsystem to enable energy saving mode (reduced energy consumption rate) operation