Demystifying AI, Understanding Risks, and Shaping the Future StdPbc-0822 本仕様の目的は,450mm用フロントオープニング・シッピングボックス(FOSB)のロードおよびアンロードを行う半導体製造装置におけるロードポートの基本的な寸法のインタフェースを定義することである。本書の意図は,革新的なソリューションを限定することなくロードポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要求および機能を定義するものである。
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