D02900 - SEMI D29 - 平面顯示螢幕(FPD)彩色濾光片耐熱性計算之測試法 Revision:SEMI D29-1101 - Superseded 本スタンダードは,3ポート・4ファスナーコンポーネント(マスフローコントローラ/マスフローメータを除く)に適用される。コンポーネント(バルブ,圧力調整器,圧力変換器,フィルター,清浄器など)は,上部からアクセス可能なファスナー(ボルト等)を使用し,基板(ベース)に実装される。
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