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本文書の目的は，半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドに対する要求事項を標準化し，また，要求事項に対して立証するためのテスト手順を標準化することである。このテスト方法は統計的に有効な結果を表すことが明らかとなっている。
the following merits can be expected: Both panel and equipment manufacturers
However the quality criteria are expected to be determined by the end user based on the user-specific needs
1 This Guide provides examples of the capabilities and limitations of various measurement technologies applicable to BWS as well as their suitability for different applications
D01500 - SEMI D15 - FPDガラス基板の表面うねりの測定方法 StdPbc-0312 本文書の目的は，半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドに対する要求事項を標準化し，また，要求事項に対して立証するためのテスト手順を標準化することである。このテスト方法は統計的に有効な結果を表すことが明らかとなっている。Global Flat Panel Display CommitteeJapanese FPD Materials and Components Committee2003428Japanese Regional Standards Committee20036www. semi. org20037199612 FPD Referenced SEMI Standards SEMI D3 Quality Area Specification for Flat Panel Display Substrates SEMI D9 Definitions for Flat Panel Display Substrates